由於激（jī）光的相幹性, 微型小曲率半徑雙凹（āo）球麵（miàn）擴束鏡表麵或內部微（wēi）小疵點、微（wēi）粒（lì）等會在準直後的激光束周圍產生雜（zá）散光斑, 會降低激光束質（zhì）量（liàng）, 增大光能（néng）耗損, 因（yīn）此在激光器產品中對微型擴束鏡的質量要（yào）求具有與常（cháng）規透鏡不同的更為嚴格（gé）的技術要求, 即表麵（miàn）粗糙度必須達到01004 Lm( Ra) , 屬準超光滑表麵.

微型擴束鏡加工工藝的特點

( 1) 高速高壓與中速低壓相結（jié）合的工藝超光滑工藝應該用低速低壓, 在杠杆光學機（jī）上（shàng）主軸轉速（sù）在10ypm 以下, 壓強在200Pa 以（yǐ）下, 但這樣的（de）參數取砂眼速度很慢, 所以選用高速高壓進行先期加（jiā）工（gōng）, 除取砂眼, 達到初步（bù）目的。

( 2) 超微粉拋光液與紅粉拋光液的使用一般拋光粉( CeO2) , 其顆粒為幾微米大小, 甚至幾十微米, 超（chāo）光滑工藝要求1 微米以下, 才有較好的效果（guǒ）, 我們用沉降法（fǎ）達到超微粉顆粒, 也可選用紅粉( FeO3) , 會有更好（hǎo）的效果。

( 3) 特殊的拋光模的作用通常在低（dī）速低壓超光滑工藝中的（de）拋（pāo）光模不能用聚氨酯, 應用（yòng）柏油模, 並且要（yào）比常規的拋光模要軟一號, 而我們采用（yòng）了（le）特製（zhì）的拋光模, 使用中速低壓, 並加入潤滑劑, 解決傳統式的缺陷, 效果很（hěn）明顯。

( 4) 工作（zuò）溫度控製一般情況下, 高（gāo）效拋光時拋光液溫度為25~30 e , 我們而超光滑拋光時工作溫度為20~ 25 e ,根據拋光劑的種類與工件玻（bō）璃牌號經過（guò）試驗, 確定了符合拋（pāo）光模條件的更佳工作溫度。

( 5) 無拋光劑拋光超光滑的最後階段應該加水拋光, 而我們更注重（chóng）無雜質的PH 值為7 的中性純淨水進行修正拋光。

( 6) 檢驗方法（fǎ）為防止在檢驗過程中的碰傷（shāng）或誤檢（jiǎn）、漏檢而（ér）影響質量, 經過研究, 我們（men）選用了無觸點式的激（jī）光光斑檢驗法, 以確保產（chǎn）品質量的穩定出廠合格率。

微型擴（kuò）束鏡相對孔徑大, 又是凹球麵, 要想達到高等（děng）級表麵（miàn）疵病質量和準超光滑表麵難度很大, 經過試驗研究, 已取得了初（chū）步（bù）成效, 產品一次送檢合格（gé）率已達到80% 以上, 且（qiě）生產效率也（yě）很滿意。堅信21世紀是光電的世紀, 激光領（lǐng）域的前（qián）景一定會越來越廣闊, 作者更（gèng）願與更多的激光器生產企業（yè）共同攜（xié）手合作, 生產出更多（duō）高質量、低成本的激（jī）光準直擴束鏡, 為（wéi）激光（guāng）事業的發展（zhǎn）作出更大（dà）的貢獻。