隨著激光技術的發展, 人們將注意力（lì）越（yuè）來越多地投（tóu）注到激光技術在其他技術領域和工（gōng）業領域的應用上, 並且出現了許多切合實（shí）際應用的新設備。在這些激光應用領域中, 無不涉及到對激光光束的調（diào）製和掃描技術早期的激光應用係統, 如（rú）: 激光切割, 焊接, 打標等設備均采用固（gù）定激光頭同時沿X一Y 方（fāng）向（xiàng）移動載有被加工物（wù）體的平台。這（zhè）種方式具（jù）有方便和簡潔等特點, 配合高精度的驅動電機和轉動（dòng）絲杠也可獲得很高的加工精度。但是平台的移動速度和行程均受到很大的限製（zhì）, 對於在線應用的係統就顯得力不從心了。

旋轉多棱鏡是另外一種激光束掃描調製的手段。在這種掃描方（fāng）式中（zhōng）, 一個高速旋轉的電機帶動著多角棱（léng）鏡旋轉, 激（jī）光束投射到棱鏡的表麵上並反射。在棱鏡轉（zhuǎn）動的過程中（zhōng）, 投射到棱鏡表麵激光的入射角發生變化從而使反射（shè）光完成掃描過程。在這種掃描方式中, 可以實現很高的（de）掃描頻率和較大的掃描角度早期的激光打印機和激光照排等設備中, 大多使（shǐ）用這種掃描方（fāng）式。但是旋（xuán）轉多棱鏡的最大缺陷在於它的掃描效率很低, 因（yīn）此在（zài）一些需要較大的入射孔徑和較高（gāo）分辨率的應用中, 就（jiù）不能令人滿意了。

振鏡式掃描是由G e n e r a l cS a n n i n g 實驗室發展起來的一（yī）種（zhǒng）激光掃描技術（shù）, 自（zì）從1 9 6 5年第一個振鏡（jìng）掃描頭被（bèi）發明以來, 在掃描（miáo）精度上和頻率（lǜ）上有了長足的發展。從目前的掃描性能上來說（shuō）, 振鏡式掃描可以算作最好的激光掃描方式之一。它（tā）是利用兩個振鏡掃描頭構成的二維激光掃描成像裝置。目前這樣的激光掃描（miáo）裝置已廣泛地應用到激光打標（biāo）,半導體調阻和共焦顯微成像（xiàng）係統中。

通常使用的這種基於激光掃描（miáo）的成像技術稱為“ 激光共焦( 顯（xiǎn）微) 成（chéng）像” 技術。在這種激光共焦顯微成像係統中, 一隻固（gù）定的高靈敏度點探測器代替（tì）了傳統的C C D。光束掃描係統(通常采用（yòng）振鏡掃描係統（tǒng）) 將激光光束指向被檢測物體上的一點, 成像係統將來自該點的反射光會聚於點探測器並構成最終成像中的一像素。然後（hòu）光束掃描係統將激光束指向下一點, 檢測過程再重複進行。如此一點一點進行（háng）測量, 直（zhí）至全部成像完成（chéng）。與（yǔ）C C D成像方式不同, 在這樣的檢測（cè）過程中, 像素的位置由掃描光束的位置確定而（ér）不是由（yóu）( C C D中) 探測器中的固（gù）定檢測單元決定。因（yīn）此這樣（yàng）的（de）檢測方式中, 我們可以通過（guò）軟件來控製變焦過程。成像像素數目( 分辨率) 則由掃描像素（sù）時鍾（zhōng）( P i x e l C l o e k )確定。在許多實際應用中, 上述技（jì）術( 相幹（gàn）光加上像素（sù）密度可調節) 較傳統C C D 技術有很大的優越性。這些應用包括: 共焦成像, 雙（shuāng）光子激發成像, 熒光成像, 金屬及玻璃等缺陷檢測/ 監測等過程。