濾光片膜層厚度的均勻性是指膜厚隨著基板(bǎn)表麵位置變化(huà)而變化的情況。膜厚均勻性不好,膜係特性會遭到嚴重的破壞,所以薄膜(mó)厚度(dù)的均(jun1)勻(yún)性如同薄膜厚度監控一樣是一個重要的課題。
對於不(bú)同的(de)薄膜往往有不同的均勻性要求(qiú)。對單層MgF2減反射膜,若膜厚(hòu)為λ0/4(λ0=520nm),則均勻性誤差一般不得超過40nm,否則就會在同(tóng)一基板上出現不同顏色。要(yào)求最嚴(yán)格的(de)是窄帶濾光片,其均勻性誤差所(suǒ)引起的整個濾(lǜ)光片表麵上的峰值波長變化不能大於半寬度的0.3倍。對(duì)於一個直(zhí)徑不大於50mm、在可見光區半寬度不小於20nm的濾光片,這個要求不算太高(gāo),但是對於更大直徑(jìng)和更窄半(bàn)寬度(dù)的(de)濾光片問題(tí)就非(fēi)常突出。對截止陡度要求很高的截(jié)止濾光片也是(shì)同樣,均勻性不(bú)好將導致過渡性嚴重惡化。
兆九光電憑借(jiè)技術上的優勢,生產的濾光片都具有(yǒu)極佳的(de)均勻性,得到了(le)客戶的一致好評。