平(píng)麵度(flatness;planeness),是屬於形(xíng)位公差中的一種,指物(wù)體表麵具有的宏觀凹(āo)凸高度相對理想(xiǎng)平麵的偏差。在傳統的檢測方法中,平麵度的測量通常有:塞(sāi)規/塞尺(chǐ)測量法、液平(píng)麵法(fǎ)、激光平麵幹涉儀測量法(平晶幹(gàn)涉法)、水平儀/數字水平儀測量法、以(yǐ)及打表測量法。

 

塞尺測量法,隻需一套可隨身攜(xié)帶(dài)的(de)塞尺就可隨(suí)時隨地進行平麵度的粗測。目前很多工廠仍使用該方法進行(háng)檢(jiǎn)測。由於其精度不高,常規最薄塞尺為10um,檢(jiǎn)測效率較低,結果不夠全麵,隻能檢測零件邊緣。

 

液平麵法,基於連通器工作原理,適(shì)合測量連續或不連續的(de)大平麵的平麵度,但測量時間長,且(qiě)對溫度(dù)敏感,僅適用於測量精(jīng)度較(jiào)低的平(píng)麵。

 

激光平麵幹涉儀測量法,最典型的(de)用法是平晶(jīng)幹涉法。但主要於測量光潔的小平麵(miàn)的測量,如(rú)千分頭測量麵,量規的工作麵,光學透鏡

 

水平儀測量法,廣泛用於(yú)工件表麵的直線度和平麵度測(cè)量。測量精(jīng)度高、穩定性好、體(tǐ)積小、攜帶方便。但是用該方法測量時需要反複(fù)挪動儀器位置,記錄(lù)各測點(diǎn)的數據,費(fèi)時、費力,調整時間長,數據處理程序繁瑣。

 

打表測(cè)量法,典型應用為平(píng)板測微儀及三坐標儀(yí),其中優以(yǐ)三坐標儀為應用(yòng)最廣泛。測量時指示器在待測樣品上(shàng)移動,按選定的布點(diǎn)測取各測量點相對於測量基準的(de)數據,再經過數據處理評定出平麵度誤差。但其效率較(jiào)低,通常一個樣品需要幾分鍾,離(lí)15ppm的期望相(xiàng)差甚遠。