平麵度(flatness;planeness),是屬於(yú)形位公差中的一種,指物體表(biǎo)麵具有的宏觀凹凸高度相對理想平麵的偏差。在傳統的(de)檢測方法中,平麵度的測量(liàng)通常有:塞規/塞尺測量法(fǎ)、液平麵法、激光平麵幹涉儀測量法(平晶幹涉法(fǎ))、水平儀/數字水平儀測量法、以及打表(biǎo)測量法。
塞尺測量(liàng)法,隻需一套可隨身攜帶(dài)的塞尺就可隨時隨地進行平麵度的粗測。目前很多工(gōng)廠仍使用該方法進行檢測。由於其精度不高,常(cháng)規最薄塞尺為10um,檢測效率(lǜ)較低,結果不夠全麵(miàn),隻能檢測零件邊緣(yuán)。
液平麵法,基於連通器工作原理,適合測量連續或(huò)不(bú)連續的大平麵的平麵度,但測量時間長,且對溫度敏感,僅適用於(yú)測量精度較低的平麵。
激光平麵幹(gàn)涉儀測量法,最典型的用法是平晶(jīng)幹涉法。但主要於測量光潔的小平麵的測量,如千分頭(tóu)測量麵,量規的工作麵,光學透鏡。
水平儀測量法,廣泛用於工件表(biǎo)麵的直線度和(hé)平(píng)麵度測量。測量精度高、穩(wěn)定性好、體積小(xiǎo)、攜(xié)帶(dài)方便。但是用該方法測量(liàng)時需(xū)要反(fǎn)複挪動儀器位置,記錄各測點的數據,費時、費力,調整時間長,數據處理程序繁瑣。
打表測量法,典型應用為平板測微儀及三坐(zuò)標儀,其中優以(yǐ)三坐標(biāo)儀為應用最廣泛。測量時指示(shì)器(qì)在待測樣(yàng)品上移動,按選定的布點測取各測量點相(xiàng)對(duì)於測量基準的數據,再經過(guò)數據處理評定出平麵度誤差。但其效率較(jiào)低,通常一個樣品(pǐn)需要幾分鍾,離15ppm的期望(wàng)相差甚遠(yuǎn)。