平麵加工工藝技術（下）

5.雙麵拋光法

雙麵拋光法適用於平行度要求高的薄片,如石（shí）英波（bō）片、濾光片（piàn）、平行平麵窗等，行星（xīng）式雙麵研磨拋光機使用很廣泛,太多引進（jìn）國外機床,國內風雷機械廠有這類機床產品. 通常上下拋光模用聚氨酯製造,中間工件隔離圈用聚四氟乙烯薄板或有機玻璃板（bǎn）、PVC板製造,利用工件在分離器孔的位（wèi）置互換使工（gōng）件的（de）平行度得（dé）到修正,工件的平麵性主要是拋光模的輪廓（kuò）複印,要求高時仍要做微量修（xiū）正，實際上,在二軸機上采用檔圈也可（kě）以實現（xiàn）雙麵拋光,不僅可以加工平行平麵,還可以加工（gōng）小圓柱棒,圖（tú）九是二軸機雙麵精磨與拋光示意（yì）圖。

(三) 、計算機控製拋光與離子拋光

計算機控製拋光(CCP)是利用小拋光頭在工件上作局部拋修運動,邊檢邊修,再過幾個循環,使平麵達到很高的精度,離子拋光（guāng）與CCP類似,把小（xiǎo）拋（pāo）光頭換（huàn）成離（lí）子束（shù）就成了離子拋光,離子拋光不僅提高了麵形精度,而且改（gǎi）善了表麵粗糙度.計算機控製拋光在浙江大學（xué）、北京理工大（dà）學、長（zhǎng）春光機所與成都光學工程中心（xīn）等均先後開展這項研究工作,後者還（hái）從俄羅斯引進了CCP三軸與五軸（zhóu）拋光機,加工出不少高（gāo）精度平麵.離子拋光在國內仍屬空白.圖十（shí）是浙大CCP實驗（yàn）裝置與俄羅斯國立光學研究所的計算機上控製拋光機.

圖十a.浙江大學試驗裝置

圖十b.俄羅斯國立光學研究所（suǒ）的計算機控製拋光機

(四) 、單（dān）點（diǎn）金剛石飛切光學平麵（miàn）

美國Pam&Pneumo Inc. 生產的MSG-325金（jīn）剛石車床用飛切方法加工過ø170mm KDP晶體高精度平行平麵,用作倍頻器;用飛切方法香港理工大學、雲南光儀廠等單（dān）位的Nanoform300也可以實現平麵的飛切.

我國為了解決270X270及310X310mmKDP平麵加工問題，近年引（yǐn）進了俄國NCM-600立式飛切平麵機床(圖十一)

圖十一.NCM-600立式飛切平麵機床

加工工件直徑可達ø550mm,其工（gōng）作原理為單點金剛（gāng）石飛刀高速旋轉,形成一個圓的軌跡，工作的直線運動,使單點包絡成一個平麵,平麵的精度主要取（qǔ）決於機床（chuáng）運（yùn）動的（de）超精密度.主軸跳動:0.05ｕm，主軸剛性：200N/um，導軌的直線性0.1um/250mm,在這個機床上已經加工出（chū）ø270KDP平麵,透過（guò）波麵達λ/2(PV)精度,在此基礎上我國將開（kāi）始研製這種機床,技術指標將超過MO-600的水平。

(五) 、棱鏡的大批量生產

對於等精度或低精度棱鏡的大批量生產通常都是成條加工完（wán）成拋光（guāng）,然後用內圓切割機割開,如棱鏡（jìng）尺寸小時可（kě）以用高速排條鋸割開,一次可以同時切割多隻棱鏡.棱鏡的精磨拋光可以（yǐ）用金屬（shǔ）夾具上盤,一個夾具可以加工（gōng）一個麵(圖十二)或三個麵(圖十三).

(六)高精度（dù）棱鏡（jìng）的加工方（fāng）法

高精度棱鏡的批量生（shēng）產通（tōng）常采用（yòng）組合光膠法.圖十四為用長方體與平行平麵光膠板（bǎn）組合光（guāng）膠加工直角屋脊棱鏡屋脊角的例子.

五、光（guāng）學平麵的檢測

平麵的麵形檢（jiǎn）測除用樣板看光圈（quān）、菲索幹涉（shè）儀看幹涉條紋以外（wài）特別推薦下列測量方法

平麵麵形快速測量法

在立柱式幹涉儀（yí）上當主光線向上出（chū）射時,工件被檢麵可以在（zài）測環上東魏測量,定位麵就（jiù）是被檢麵,這樣就可以連續測量（liàng）,不需要重新調整工件位（wèi）置,如圖十五為寧波華光（guāng）儀器有限公司生產的數字幹涉儀上測量（liàng）平（píng）麵數字條（tiáo）紋.

圖十五a.寧波華光儀器有限公司CQG-II車間數字幹涉儀(儀器全貌)